上海新阳:ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中

【上海新阳:ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中】上海新阳在互动平台表示,公司KrF光刻胶已批量化生产销售,ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中,EUV光刻胶尚在开发阶段。

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